Точность до нескольких микрон
Российская установка для монтажа кристаллов запущена в серийное производство.
Сотрудники молодёжной Лаборатории МГТУ «СТАНКИН» при поддержке индустриального партнёра ООО «Совтест АТЕ» разработали и запустили в серийное производство автоматическую установку для монтажа полупроводниковых кристаллов. Разработка закрывает дефицитный сегмент в российском электронном машиностроении – автоматический высокоточный монтаж кристаллов, где до недавнего времени доминировали зарубежные производители (ASMPT, Besi, Kulicke & Soffa, Datacon).
Универсальный солдат микроэлектроники
Новое оборудование предназначено для операций по монтажу кристаллов на подложку с точностью до нескольких микрон. Инженерам удалось добиться такой точности за счёт синергии систем машинного зрения и прецизионной механики. Системы зрения в автоматическом режиме определяют точное пространственное положение кристаллов и подложки, а механические узлы, работая с ними в связке, гарантируют физическую микронную точность перемещений. Все параметры процесса строго контролируются программно, что обеспечивает повторяемость результатов для любых типов изделий. Установка универсальна: она поддерживает широкий спектр задач – от классического монтажа кристаллов (die-attach) до сложной 3D-сборки систем-в-корпусе (SiP) и МЭМС. Собираемая на ней электронная компонентная база применяется для выпуска микропроцессоров и SMD-компонентов.
Установка, разработанная специалистами «СТАНКИНАа», отвечает запросу отрасли. По прогнозам, до 2030 года производство микроэлектроники в России будет увеличиваться на 25% ежегодно, а к концу десятилетия достигнет 352 млрд рублей (более 4,5 млрд долларов). Ожидается, что производственные мощности вырастут в четыре раза – до 380 тысяч пластин в год. Изначально установка ориентирована на растущий внутренний рынок, однако наличие серийного оборудования с подтверждённой точностью открывает и экспортный потенциал.
Ставка на своё оборудование
Проект «СТАНКИНа» и «Совтест АТЕ» соответствует целям государственной программы «Развитие электронной и радиоэлектронной промышленности», в структуру которой входит федеральный проект «Электронное машиностроение», направленный на развитие суверенной производственной базы – станков, установок и инструментов, необходимых для выпуска микросхем и полупроводниковых приборов. В 2025 году Минпромторг направил около семи млрд рублей (91 млн долларов) на освоение пяти типов российского оборудования для производства микросхем, предназначенного для замены американских, европейских и японских установок.
Бюджетное финансирование программы до 2030 года запланировано на уровне более 240 млрд рублей (более 3,1 млрд долларов). Изначально программа охватывала период до 2030 года, однако в связи с необходимостью расширения задач Минпромторг принял решение продлить её действие до 2036 года. Цель – импортозамещение около 70% оборудования и материалов для производства микроэлектроники. В рамках программы планируется реализовать более 110 проектов. К 2030-2032 годам планируется внедрить 122 российских установки для производства микросхем.
От кремния до чипа
Сейчас в России формируется полная производственная цепочка микроэлектроники. Так, в 2026 году Фонд суверенных технологий НТИ инвестировал 50 млн рублей (6,5 млн долларов) в создание производства монокристаллов кремния и кремниевых пластин диаметром до 300 мм. Соинвестором выступает АО «Корпорация Попов Радио». Производство будет осуществляться на собственной ростовой установке, работающей по методу Чохральского – «вытягиванию» кристалла из расплава. К 2028 году планируется выйти на выпуск миллион пластин в год, а в 2030-2032 годах до половины продукции планируется поставлять в страны Азиатско-Тихоокеанского региона, где сосредоточено более 70% мировых фабрик полупроводников.
АО «Отраслевые решения» (группа «Элемент») запустит в 2028 году предприятие по выпуску силовых диодов и транзисторов на основе кремния и карбида кремния. Продукция предназначена для энергетики, транспортной инфраструктуры и промышленности. К 2030 году предприятие планирует выпускать до 100 тысяч кремниевых и 40 тысяч карбид-кремниевых пластин ежегодно – это закроет около 60% внутреннего спроса на силовые полупроводники, часть продукции пойдёт на экспорт.
В совокупности такие проекты позволяют сформировать замкнутый технологический цикл – от сырья до готовых полупроводниковых приборов. Таким образом, в России выстраивается суверенная экосистема микроэлектроники.
