АО «ЗНТЦ» создаст российский сканирующий микроскоп
Он нужен для контроля качества выпускаемых микросхем.
Зеленоградский нанотехнологический центр создаст российский сканирующий микроскоп для контроля качества выпускаемых чипов. Новинка должна заменить импортное оборудование, которое раньше поставлялось из Японии.
Сумма контракта, заключённого между Минпромторгом и АО «ЗНТЦ», составила 2,37 млрд руб.
Установка сканирующего электронного измерительного микроскопа (CD-SEM) будет разрабатываться для контроля пластин диаметром 100, 150 и 200 миллиметров. Опытный образец изготавливается в исполнении для пластин 200 миллиметров.
Микроскоп нужен для измерения параметров критических элементов микросхем: ширины линий, диаметров контактных отверстий, расстояний между элементами периодических структур и шероховатости края линии.
Все критически важные компоненты будущего устройства должны производиться на территории России. Работы должны быть завершены до 30 июня 2030 года.
